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據(jù)麥姆斯咨詢報道,日立最新開發(fā)的MEMS加速度計的靈敏度比目前汽車和智能手機中采用的商用MEMS加速度計的靈敏度要更高,并且功耗降低50%(圖1)。這款MEMS加速度計的噪聲密度為30 ng/√Hz,據(jù)說與應(yīng)用于航天航空、地震和資源勘探等高端領(lǐng)域的“大型”加速度傳感器具有相同的噪聲水平(圖2)

2018-01-26 10:58:00 · 風(fēng)電網(wǎng) 閱讀:221
據(jù)麥姆斯咨詢報道,日立最新開發(fā)的MEMS加速度計的靈敏度比目前汽車和智能手機中采用的商用MEMS加速度計的靈敏度要更高,并且功耗降低50%(圖1)。這款MEMS加速度計的噪聲密度為30 ng/√Hz,據(jù)說與應(yīng)用于航天航空、地震和資源勘探等高端領(lǐng)域的“大型”加速度傳感器具有相同的噪聲水平(圖2)
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